株式会社河合電器製作所の情報

半導体の微細化に伴い、より高品質・高精度が求められる半導体製造装置メーカーからの均熱ニーズに応えて開発。食品機械や金型用加熱装置、熱プレス機などでも短時間での均熱を実現。生産効率の向上に貢献します。熱技術に関するコンサルティングを強みとする工業用電気ヒーターメーカー、株式会社河合電器製作所（所在地：愛知県名古屋市、代表取締役社長：佐久真一）はこのたび、特許出願中の独自技術から生まれたヒーター用アクセサリー「Peacott（ピーコット）」の販売を開始いたしました。



「Peacott（ピーコット）」は、ヒーターとの相性が良い高熱伝導材に、私たちが独自開発した特殊加工（特許出願中）を施すことで、温度のコントロール性と取り扱い性を両立したヒーター用アクセサリー。半導体の微細化に伴い、より高品質・高精度が求められる半導体製造装置メーカーからの均熱ニーズに応えて開発いたしました。用途にあわせて、最高使用温度やサイズといった仕様、用途の異なる「フィルム」「ラバー」「セラミック」の3種類を開発いたしました。



半導体製造装置のほか、食品機械や金型用加熱装置、熱プレス機など、製造や加工の工程で均熱を必要とする場面において、熱源（ヒーター）と加工対象物の間に挟むだけで最大温度差1％以下という高い均熱性を実現。また均熱までにかかる時間も64％削減（社内実証実験による）と短時間での均熱を実現しました。これまでの現場の悩みの一つであった均熱に関わる問題を解決し、製造効率を大幅に向上させることが可能となります。また「Peacott（ピーコット）」を使用しなかった場合に比べて、消費電力も約20％減らすことができ、SDGs（持続可能な開発目標）の実現にも貢献します。






とりわけAIやIoT、5G、スマートデバイスといった今後の私たちの社会を支える成長産業において欠かすことのできない半導体は、シリコンウエハーと呼ばれる、表面が鏡のように磨かれた平らな円盤形の部品に回路を書き込み、それを一つ一つの半導体に分離させることで製造されます。



1枚のシリコンウエハーから製造できる半導体の個数が多くなるほど、その製造コストは削減でき、半導体の価格を下げることができるため、より幅広い分野で半導体が使用できるようになるというメリットが生まれます。
シリコンウエハーは絶縁や表面の保護のために酸化膜やフィルムを熱圧着する工程があり、この「Peacott（ピーコット）」を使用し、円盤形のシリコンウエハー全体に短時間で均一な加熱を施すことで、以下のイメージ図のように歩留まりが改善され、生産効率を向上させることができます。



さまざまな世界情勢の背景から半導体不足が問題となっている昨今、「台湾積体電路製造（TSMC）」の国内誘致と、世界最先端の半導体の国産化を目指す半導体メーカー・ラピダスの設立という、日本政府による二つの国策プロジェクトが動き始めたことで、今後国内における半導体製造はさらに加速していくことが見込まれています。
私たちはこれからも、1929年の創業以来ずっと経験と知見を蓄え続けてきた「熱」の力で革新的なソシューションを提供し、さまざまな社会課題に貢献して参りたいと考えています。
※弊社開発のヒーター（フィルムヒーター・高温用面状ヒーターなど）と合わせてお使いいただくことで、さらに均熱効果を高めることができます。クライアント側の製造設備の仕様に合わせたオーダーメイドも可能です。
＜参考URL＞
ヒーター用アクセサリー「Peacott（ピーコット）」
https://www.kawaidenki.co.jp/product/peacott.html
フィルムヒーター
https://www.kawaidenki.co.jp/product/filmheater.html
ET-600高温用面状ヒーター
https://www.kawaidenki.co.jp/product/menjo.html
株式会社河合電器製作所
https://www.kawaidenki.co.jp/